В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) - электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.

Учебник предназначен для студентов вузов, обучающимся по специальностям "Проектирование и технология электронных устройств", "Проектирование и технология радиоэлектронных средств" и "Электронные приборы", может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.