Код товара: 24927178
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением  #1

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением

Тип книги:
Серия
Мир материалов и технологий
Издательство
Техносфера
Год выпуска
2014
Тип обложки
Твердый переплет
Тип книги
Печатная книга
Перейти к описанию

О книге

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок слож
OZON
Продавец:
OZON
  • Безопасная оплата онлайн
  • Возврат 7 дней
Гарантия легкого возврата
До 7 дней на возврат, полная гарантия

Описание

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.
Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.
Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.
Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.

Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Характеристики

Серия
Мир материалов и технологий
Издательство
Техносфера
Год выпуска
2014
Тип обложки
Твердый переплет
Тип книги
Печатная книга
Автор на обложке
Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман
Тип издания
Отдельное издание
Формат издания
70x100/16
Количество страниц
260
Язык издания
Русский
ISBN
978-5-94836-369-1
Вес в упаковке, г
510
Информация о технических характеристиках, комплекте поставки, стране изготовления, внешнем виде и цвете товара носит справочный характер и основывается на последних доступных к моменту публикации сведениях

Издательства

  • Техносфера Издательство