Только для Premium ранний доступ к распродаже еще
0 дней 0 часов 0 минут
За подарками!
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Оставить отзыв
OZON
Код товара: 2509950

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Оставить отзыв
Тип книги:
Издательство
Год выпуска
2006
Тип обложки
Твердый переплет
Автор на обложке
В. Киреев, А. Столяров
Формат издания
60x90/16
Перейти к описанию

О книге

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микростр
245 ₽
12 баллов при оплате Ozon.Card
От 13 руб./месяц в кредит

Доставка

В Москву
В наличии — осталась одна штука!
Доставка курьером, завтра, 24 февраля
, завтра, 24 февралябесплатно
Продавец:
OZON
  • Безопасная оплата: Банковской картой и ещe несколько способов оплаты
  • Возврат 7 дней
Гарантия легкого возврата
До 7 дней на возврат, полная гарантия

Описание

Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении Функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.

Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.

Характеристики

Издательство
Год выпуска
2006
Тип обложки
Твердый переплет
Автор на обложке
В. Киреев, А. Столяров
Формат издания
60x90/16
Количество страниц
192
Язык издания
Русский
ISBN
5-94836-039-3
Вес в упаковке, г
380
Информация о технических характеристиках, комплекте поставки, стране изготовления, внешнем виде и цвете товара носит справочный характер и основывается на последних доступных к моменту публикации сведениях

Издательства

  • Техносфера Издательство
Отзывы
Помогите другим пользователям с выбором — будьте первым, кто поделится своим мнением об этом товаре.
Реклама