Книги
  • @
  • «»{}∼
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие

Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Учебное пособие

31511957
Добавить в корзину
Рекомендуем также
Описание
В книге описаны основные технологические процессы полупроводникового производства; рассмотрены: тенденции и особенности производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем; виды механической, химической и электрохимической обработки; изготовление фотошаблонов; процессы фотолитографии, эпитаксии, диффузии, ионной имплантации, испарения и распыления в вакууме; методы защиты поверхности структур, сборки и герметизации приборов; технологии изготовления структур на полупроводниковых соединениях типа AIII BV, а также биполярных и МДП интегральных микросхем.

Учебное пособие предназначается для студентов вузов по специальностям полупроводниковой и электронной техники.
2-е издание, переработанное и дополненное.