Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца
Оставить отзыв
OZON
Код товара: 31834020

Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца

Оставить отзыв
Тип книги:
Издательство
Год выпуска
2011
Автор на обложке
Владимир Ветошкин und Петр Крылов
Количество страниц
144
Комментарий
Исследование влияния обработки в различных газах на поверхность кварца.
Перейти к описанию

О книге

В работе описана новая конструкция и схема расположения катодного и анодного узлов разработанной установки ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ - магнетроном, обеспечивающие высокие скорости ионного и реактивно-ионного травлен
Товар закончился
Продавец:
OZON
  • Безопасная оплата: Банковской картой и ещe несколько способов оплаты
  • Возврат 7 дней
Гарантия легкого возврата
До 7 дней на возврат, полная гарантия

Описание

В работе описана новая конструкция и схема расположения катодного и анодного узлов разработанной установки ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ - магнетроном, обеспечивающие высокие скорости ионного и реактивно-ионного травления различных материалов. Определены и описаны оптимальные режимы травления кварца. Впервые предложено устройство для утилизации хлорсодержащих газов и (или) изменения состава рабочего газа. Определены оптимальные режимы процессов реактивного ионно-лучевого травления кварца в различных хлорсодержащих газах. Исследованы возможности использования твердотельного источника фтора для ионно-лучевого травления кварца. Определены оптимальные режимы ионно-лучевых и ионно-плазменных процессов полировки кварца.

Характеристики

Издательство
Год выпуска
2011
Автор на обложке
Владимир Ветошкин und Петр Крылов
Количество страниц
144
Комментарий
Исследование влияния обработки в различных газах на поверхность кварца.
Язык издания
Русский
ISBN
9783844352887
Вес в упаковке, г
501
Информация о технических характеристиках, комплекте поставки, стране изготовления, внешнем виде и цвете товара носит справочный характер и основывается на последних доступных к моменту публикации сведениях

Издательства

  • LAP Lambert Academic Publishing Издательство
Реклама
Отзывы