Passive Chemical Project
Оставить отзыв
OZON
Код товара: 31858270

Passive Chemical Project

Оставить отзыв
Тип книги:
Издательство
Год выпуска
2010
Автор на обложке
Rajendra Parsad
Количество страниц
216
Комментарий
Project in the past
Перейти к описанию

О книге

The corrosion current of bare copper metal was determined in ferric ion and in hydrogen peroxide solutions and was found to be close to the CMP rate reported in the literature. This leads to the new conclusion that copper CMP is mainly a corrosive we
Товар закончился
Продавец:
OZON
  • Безопасная оплата: Банковской картой и ещe несколько способов оплаты
  • Возврат 7 дней
Гарантия легкого возврата
До 7 дней на возврат, полная гарантия

Описание

The corrosion current of bare copper metal was determined in ferric ion and in hydrogen peroxide solutions and was found to be close to the CMP rate reported in the literature. This leads to the new conclusion that copper CMP is mainly a corrosive wear process that occurs at the abraded spots on the wafer surface, the high spots. Cu(I)BTA film forms only at the low areas which are not being abraded. This finding calls for the revision of the conventional view that CMP involves a successive sequence of film formation and removal.

Характеристики

Издательство
Год выпуска
2010
Автор на обложке
Rajendra Parsad
Количество страниц
216
Комментарий
Project in the past
Язык издания
Английский
ISBN
9783838333373
Вес в упаковке, г
501
Информация о технических характеристиках, комплекте поставки, стране изготовления, внешнем виде и цвете товара носит справочный характер и основывается на последних доступных к моменту публикации сведениях

Издательства

  • LAP Lambert Academic Publishing Издательство
Отзывы
Помогите другим пользователям с выбором — будьте первым, кто поделится своим мнением об этом товаре.
Реклама