Книги
  • @
  • «»{}∼
Физические основы микроэлектроники

Физические основы микроэлектроники

34008435
Добавить в корзину
Рекомендуем также
Описание
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.

Для студентов высших учебных заведений.