Книги
  • @
  • «»{}∼
Оборудование полупроводникового производства. Учебное пособие

Оборудование полупроводникового производства. Учебное пособие

34351043
Добавить в корзину
Рекомендуем также
Описание
В учебном пособии изложены вопросы конструирования и особенности основных видов технологического оборудования полупроводникового производства. Сформулированы требования к оборудованию, определяемые технологическими процессами, и даны практические рекомендации по их реализации.
Наряду с рассмотрением отдельных видов устройств отмечена необходимость системного подхода к комплексной механизации и автоматизации производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.

Учебное пособие предназначено для студентов вузов, изучающих оборудование полупроводникового производства в курсах "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы" и "Технология специальных материалов электронной техники". Оно также может быть использовано студентами специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение".